(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210783354.2 (22)申请日 2022.07.05 (71)申请人 深圳新益昌科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区福永街 道和平路锐明工业园C8栋 (72)发明人 郭奇　周赞　 (74)专利代理 机构 深圳中一联合知识产权代理 有限公司 4 4414 专利代理师 陈卓宏 (51)Int.Cl. G06T 7/73(2017.01) G06T 7/66(2017.01) G06T 7/00(2017.01) (54)发明名称 一种生成搜索路径的方法、 装置、 终端设备 以及存储介质 (57)摘要 本申请适用于晶圆识别的技术领域， 提供了 一种生成搜索路径的方法、 装置、 终端设备以及 存储介质， 其方法包括确定晶圆处理区域的关键 坐标点， 晶圆处理区域内包含多个目标对象块； 生成以关键坐标点为中心的至少一个特征点组， 特征点组包括多个特征点； 根据各个特征点组在 晶圆处理区域中构成搜索路径， 搜索路径用于获 得晶圆处理区域内所有目标对象块的位置信息。 本申请能够提高生产效率。 权利要求书2页 说明书9页 附图7页 CN 115170661 A 2022.10.11 CN 115170661 A 1.一种生成搜索路径的方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 确定晶圆处 理区域的关键坐标点， 所述晶圆处 理区域内包 含多个目标对象块； 生成以所述关键坐标点 为中心的至少一个特 征点组， 所述特 征点组包括多个特 征点； 根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构 成搜索路径， 所述搜索 路径用于获得 所述晶圆处 理区域内所有所述目标对象块的位置信息 。 2.如权利要求1所述的方法， 其特征在于， 在所述生成以所述关键坐标点为中心的至少 一个特征点组中， 所述方法包括： 以所述关键坐标点为中心， 根据预设的第N路径图形在所述晶圆处理区域上等间距生 成多个第N特征点， 将多个所述第N特征点作为第N特征点组， 所述N为正整数， 所述N的初始 数值为1； 若所述N的数值小于预设的点组个数， 则增加N的数值， 并以预设的调整步长扩大第N路 径图形的覆盖范围， 返回执行所述以所述关键坐标点为中心， 根据预设的第N路径图形在所 述晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点， 将多个所述第N特征点作为第N特征点组的 操作； 若所述N的数值大于或等于所述点组个数， 则执行所述根据各个所述特征点组在所述 晶圆处理区域中构成搜索路径的操作； 相应地， 所述 根据各个所述特 征点组在所述晶圆处 理区域中构成搜索路径， 包括： 以所述第N特征点组的组别正序依次连接各个所述第N特征点组内的所述第N特征点， 构成所述搜索路径； 或 以所述第N特征点组的组别逆序依次连接各个所述第N特征点组内的所述第N特征点， 构成所述搜索路径。 3.如权利要求1所述的方法， 其特征在于， 在所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处 理区域中构成搜索路径之后， 所述方法还 包括， 选取任意一个位于所述目标对象块内的特征点作为第 一特征点， 所述第 一特征点所在 的所述目标对象块 为所述第一特 征点的所属对象块； 搜索所述第一特征点的周边范围内是否存在至少一个除所述所属对象块外的其他目 标对象块， 所述周边范围是以所述第一特 征点为中心， 预设的距离值 为半径构成的区域； 若所述第一特征点的周边范围内不存在所述其他目标对象块， 则 选取另一个位于所述 目标对象块内的特 征点作为第一特 征点； 若所述第一特征点的周边范围内存在至少一个所述其他目标对象块， 则分别 搜索各个 所述其他目标对象块内是否存在所述特 征点； 若任意一个所述其他目标对象块内不存在所述特征点， 则在所述其他目标对象块内添 加第二特征点， 直至各个所述其他目标对象块内均存在所述第二特征点或所述第一特征 点； 根据所述特征点、 所述第一特征点和所述第二特征点构成补充路径， 并把所述补充路 径合并至所述搜索路径中。 4.如权利要求3所述的方法， 其特征在于， 在所述根据所述特征点、 所述第一特征点和 所述第二特征点构成补充路径， 并把所述补充路径合并至所述搜索路径中之后， 所述方法权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115170661 A 2还包括， 比对所述特征点与 所述目标对象块之间的位置， 判断所述特征点是否位于所述目标对 象块内； 若所述特征点位于所述目标对象块内， 则保留所述特征点， 并从所述特征点组中选取 另一个所述特 征点作为比对 对象； 若所述特 征点位于所述目标对象块外， 则移除所述特 征点， 更新所述搜索路径。 5.如权利要求3所述的方法， 其特征在于， 在所述选取任意一个位于所述目标对象块内 的特征点作为第一特 征点之后， 所述方法还 包括， 搜索所述所属对象块内是否存在除所述第一特 征点外的其 他特征点； 若所述目标对象块内存在所述其他特征点， 则移除所述其他特征点， 更新所述搜索路 径。 6.如权利要求5所述的方法， 其特征在于， 在所述搜索所述第 一特征点所对应的所述目 标对象块内是否存在特 征点之后， 所述方法还 包括： 若同一个所述目标对象块内存在预设数量的特征点， 则根据 预设的比例缩放N的数值， 并重新执 行所述根据各个所述特 征点组在所述晶圆处 理区域中构成搜索路径的操作。 7.如权利要求1所述的方法， 其特征在于， 在所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处 理区域中构成搜索路径之后， 所述方法还 包括： 根据所述搜索路径获取 各个所述目标对象块的位置信息； 将所述位置信息发送至执 行终端， 所述执 行终端用于吸取 所述目标对象块。 8.一种生成搜索路径的装置， 其特 征在于， 包括： 坐标点确定模块， 用于确定晶圆处理区域的关键坐标点， 所述晶圆处理区域内包含多 个目标对象块； 点组生成模块， 用于生成以所述关键坐标点为中心 的至少一个特征点组， 所述特征点 组包括多个特 征点； 路径构成模块， 用于根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径， 以 获得所述目标对象块的位置信息 。 9.一种终端设备， 包括存储器、 处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上 运行的计算机程序， 其特征在于， 所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7 任一项所述方法的步骤。 10.一种计算机可读存储介质， 所述计算机可读存储介质存储有计算机程序， 其特征在 于， 所述计算机程序被处 理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115170661 A 3