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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210584718.4 (22)申请日 2022.05.27 (71)申请人 深圳泰德半导体装备有限公司 地址 518000 广东省深圳市南 山区粤海街 道麻岭社区科研路9号比克科技大厦 1101-G1 (72)发明人 黄昌春 李文强 杨建新 朱霆  盛辉 周学慧 张凯  (74)专利代理 机构 深圳市恒程创新知识产权代 理有限公司 4 4542 专利代理师 钟永翠 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/064(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)发明名称 绿光打标结构和激光打标装置 (57)摘要 本发明公开一种绿光打标结构和激光打标 装置。 绿光 打标结构包括壳体、 激光器、 扩束组件 和分光组件, 壳体安装于密闭腔体内, 壳体内形 成有容纳腔, 激光器安装于密闭腔体内, 激光器 的激光出射口与壳体连接。 扩束组件设于容纳腔 内, 扩束组件包括沿激光入射光线方向同轴设置 的激光扩束镜和绿光扩束镜, 激光扩束镜的一侧 与激光出射口对接, 分光组件安装于容纳腔, 分 光组件设有分光片, 分光片位于激光扩束镜和绿 光扩束镜之间, 定义分光片设有朝向绿光扩束镜 的第一平 面, 第一平面的法线方向与光线发射方 向形成有夹角。 本发明旨在降低绿光激光打标的 加工成本, 简化绿光打标结构, 且通过形成密闭 模块提高绿光的质量。 权利要求书1页 说明书6页 附图5页 CN 114918549 A 2022.08.19 CN 114918549 A 1.一种绿光打标结构, 应用于激光打标装置, 所述激光打标装置设有密闭腔体, 其特征 在于, 所述绿光打标 结构包括: 壳体, 所述壳体安装于所述密闭腔体内, 所述壳体内形成有容纳腔; 激光器, 所述激光器安装于所述密闭腔体内, 所述激光器的激光出射口与所述壳体连 接; 扩束组件, 所述扩束组件设于所述容纳腔内, 所述扩束组件包括沿激光入射光线方向 同轴设置的激光扩束镜和绿光扩束镜, 所述激光扩束镜的一侧与所述激光出射口对接; 以 及 分光组件, 所述分光组件安装于所述容纳腔, 所述分光组件设有分光片, 所述分光片位 于所述激光扩束镜和所述绿光扩束镜之 间, 定义所述分光片设有朝向所述绿光扩束镜的第 一平面, 所述第一平面的法线方向与光线发射方向形成有夹角。 2.如权利要求1所述的绿光打标 结构, 其特 征在于, 所述夹角的角度范围为 40°至50°。 3.如权利要求1所述的绿光打标 结构, 其特 征在于, 所述分光片的材质为反射 性材料。 4.如权利要求1所述的绿光打标 结构, 其特 征在于, 所述分光组件 还包括: 分光镜座, 所述分光镜座固定安装于所述容纳腔, 所述分光镜座间设于所述激光扩束 镜和所述绿光扩束镜之间; 和 吸光块, 所述吸光块安装于所述容纳腔, 所述吸光块设于所述分光镜座的一侧, 定义所 述吸光块具有吸光 面, 所述吸光 面与入射 光线方向呈平行设置 。 5.如权利要求4所述的绿光打标结构, 其特征在于, 所述分光镜座还包括压紧螺母, 所 述分光镜座设有安装孔, 所述压紧螺母安装于所述安装孔, 所述分光片通过所述压紧螺母 固定安装于所述 安装孔。 6.如权利要求1所述的绿光打标结构, 其特征在于, 所述扩束组件与 所述壳体之间设有 调光块, 所述调光 块安装于所述 容纳腔内。 7.如权利要求6所述的绿光打标结构, 其特征在于, 所述调光块与所述扩束组件为间隔 设置, 所述调光 块为两个, 一个所述调光 块设于所述激光扩束镜沿入射 光线方向的前侧; 另一个所述调光 块设于所述绿光扩束镜沿入射 光线方向的后侧。 8.如权利要求7所述的绿光打标结构, 其特征在于, 所述调光块设有通孔, 所述通孔设 有十字结构。 9.如权利要求8所述的绿光打标结构, 其特征在于, 所述壳体外设有密封接头, 所述壳 体通过所述密封 接头与所述激光器连接; 所述壳体通过 所述密封 接头与所述密闭腔体连接; 所述密封 接头设有光路通道, 所述 光路通道与所述 通孔配合。 10.一种激光打标装置, 其特征在于, 包括机体和如权利要求1至9任一所述的绿光打标 结构, 所述机体设有所述密闭腔体。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 114918549 A 2绿光打标结构和激光打标装 置 技术领域 [0001]本发明涉及激光加工技 术领域, 特别涉及一种绿光打标 结构和激光打标装置 。 背景技术 [0002]激光打标是利用高能量密度的激光对工件进行局部照射, 使表层材料汽化或发生 颜色变化的化学反应, 从而留下永久性标记的一种打标方法。 随着激光加工技术的发展, 为 了提高激光打标的精度和质量, 工厂开始采用绿光来进行激光打标, 然而现有的绿光激光 打标机成本较高, 结构复杂, 且打标机非密封结构, 导致灰尘等杂质易进入打标机中影响绿 光质量。 发明内容 [0003]本发明的主要目的是提供一种绿光打标结构, 旨在降低绿光激光打标的加工成 本, 简化绿光打标 结构, 且通过 形成密闭模块 提高绿光的质量。 [0004]为实现上述目的, 本发明提出的绿光打标 结构包括: [0005]壳体, 所述壳体安装于所述密闭腔体内, 所述壳体内形成有容纳腔; [0006]激光器, 所述激光器安装于所述密闭腔体内, 所述激光器的激光出射口与所述壳 体连接; [0007]扩束组件, 所述扩束组件设于所述容纳腔内, 所述扩束组件包括沿激光入射光线 方向同轴设置的激光扩束镜和绿光扩束镜, 所述激光扩束镜的一侧与所述激光出射口对 接; 以及 [0008]分光组件, 所述分光组件安装于所述容纳腔, 所述分光组件设有分光片, 所述分光 片位于所述激光扩束镜和所述绿光扩束镜之间, 定义所述分光片设有朝向所述绿光扩束镜 的第一平面, 所述第一平面的法线方向与光线发射方向形成有夹角。 [0009]可选地, 所述夹角的角度范围为 40°至50°。 [0010]可选地, 所述分光片的材质为反射 性材料。 [0011]可选地, 所述分光组件 还包括: [0012]分光镜座, 所述分光镜座固定安装于所述容纳腔, 所述分光镜座间设于所述激光 扩束镜和所述绿光扩束镜之间; 和 [0013]吸光块, 所述吸光块安装于所述容纳腔, 所述吸光块设于所述分光镜座的一侧, 定 义所述吸光 块具有吸光 面, 所述吸光 面与入射 光线方向呈平行设置 。 [0014]可选地, 所述分光镜座还包括压紧螺母, 所述分光镜座设有安装孔, 所述压紧螺母 安装于所述 安装孔, 所述分光片通过 所述压紧螺母固定安装于所述 安装孔。 [0015]可选地, 所述扩束组件与所述壳体之间设有调光块, 所述调光块安装于所述容纳 腔内。 [0016]可选地, 所述调光块与所述扩束组件为间隔设置, 所述调光块为两个, 一个所述调 光块设于所述激光扩束镜沿入射 光线方向的前侧;说 明 书 1/6 页 3 CN 114918549 A 3

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