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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210730299.0 (22)申请日 2022.06.24 (71)申请人 长沙麓邦光电科技有限公司 地址 410206 湖南省长 沙市高新 开发区岳 麓西大道2450号环创园A-6区N单元6 层602 (72)发明人 何宏伟 谢吕平 代林茂 张兆兴  李晓春  (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/70(2014.01) B23K 37/04(2006.01) (54)发明名称 用于制备光 栅尺的夹具及其联控方法 (57)摘要 本发明涉及光学制造技术领域, 公开一种用 于制备光栅尺的夹具及其联控 方法, 以提高光栅 尺的制备精度。 本发明夹具设置有用于在光刻时 将光栅尺基带当前的目标光刻区域同步压紧并 拉直于工作台面的联动机构; 所述联动机构设有 三组气缸及两组负压真空管路, 且还用于在电机 牵引以切换到下一目标光刻区域的过程中, 释放 部分压紧作用力并继续保持所述光栅尺基带处 在所述夹 具工作台面上的拉直状态; 确保了光栅 尺刻写过程中的高平整度并全程有效避免了光 栅尺起拱等情况, 从而有效避免了对刻线的精度 所造成的干 扰。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 114952023 A 2022.08.30 CN 114952023 A 1.一种用于制备光栅尺的夹具, 其特征在于, 设置有用于在光刻时将光栅尺基带当前 的目标光刻区域同步压紧并拉直于工作台面的联动机构; 所述联动机构还用于在电机牵引 以切换到下一目标光刻区域的过程中, 释放部 分压紧作用力并继续保持所述光栅尺基带处 在所述夹具工作台面上的拉直状态; 所述联动机构包括: 第一组气缸, 包括与工作台面左右两端分别相邻的1号气缸和6号气缸; 第三组气缸, 包括3号气缸和4号气缸, 且所述目标光刻区域位于3号气缸与4号气缸之 间; 第二组气缸, 包括位于1号气缸与3号气缸之间的2号气缸, 以及位于4号气缸与6号气缸 之间的5号气缸; 所述第一组气缸、 第 二组气缸及第 三组气缸都设置有与工作台面进行松紧配合的两种 状态, 各气缸之 间的排号顺序从左至右 递减1; 且 所述第一组气缸与所述第二组气缸的底 座 固定在所述夹具不动的结构上, 所述第三组气缸的底座固定在受电机牵引能在水平面上做 往复运动的平 移块上; 所述联动机构还 包括: 用于与所述第三组气缸对位的负压真空管路A, 用于在吸的状态下, 与紧状态下的所述 第三组气缸 形成合力; 并在破的状态下, 释放作用力; 用于与所述第二组气缸对位的负压真空管路B, 用于在吸的状态下, 与紧状态下的所述 第二组气缸 形成合力; 并在破的状态下, 释放作用力; 与所述电机连接的控制器, 用于驱动所述联动机构执 行下述联动流 程: 一、 手工上 料 人工放好光栅尺基带——2号气缸压紧——人工拉紧光栅尺基带——负压真空管路A 吸——5号气缸压紧— —1号气缸、 6号气缸压紧; 二、 自动运行 所述平移块运行到最右端的初始刻写位置——3号气缸和4号气缸压紧、 负压真空管路 B吸——执行第一个段的激光打标——2 号气缸和5号气缸松 开、 负压真空管路B 破——电机 牵引光栅尺基带向左前进一个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、 负压真空管路B吸—— 执行第二个段的激光打标, 依次循环, 直至电机牵引光栅尺基带向左前进了N个段长度—— 3号气缸和4号气缸压紧、 负 压真空管路B吸——执行第N个段的激光打标——2 号气缸和5号 气缸压紧、 负压 真空管路A吸、 3号气缸和4号气缸松 开、 负压真空管路B破——所述平移块向 右返回到最右端的初始刻写位置以切换到下一轮 循环; 其中, N为所述平移块往 复运动的最大距离除以单个段长度 所得的大于或等于2的最大 正整数。 2.根据权利要求1所述的用于制备光栅尺的夹具, 其特征在于, 所述夹具在工作台面的 水平方向上设有平行的对应至少两条光栅尺基带的尺槽, 且所述联动机构的作用范围横跨 各所述尺槽 。 3.根据权利要求1或2所述的用于制备光栅尺的夹具, 其特征在于, 所述夹具的右侧与 送料机构连接 。 4.根据权利要求1或2所述的用于制备光栅尺的夹具, 其特征在于, 所述夹具的左侧与 收料机构连接 。 5.一种联控方法, 应用于制备光栅尺的系统中, 所述系统包括如权利要求1至4任一所权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 114952023 A 2述的夹具, 所述方法至少包括下述的自动运行步骤: 所述平移块运行到最右端的初始刻写位置——3号气缸和4号气缸压紧、 负压真空管路 B吸——执行第一个段的激光打标——2 号气缸和5号气缸松 开、 负压真空管路B 破——电机 牵引光栅尺基带向左前进一个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、 负压真空管路B吸—— 执行第二个段的激光打标, 依次循环, 直至电机牵引光栅尺基带向左前进了N个段长度—— 3号气缸和4号气缸压紧、 负 压真空管路B吸——执行第N个段的激光打标——2 号气缸和5号 气缸压紧、 负压 真空管路A吸、 3号气缸和4号气缸松 开、 负压真空管路B破——所述平移块向 右返回到最右端的初始刻写位置以切换到下一轮 循环; 其中, N为所述平移块往 复运动的最大距离除以单个段长度 所得的大于或等于2的最大 正整数。 6.根据权利要求5所述的方法, 其特征在于, 在所述自动运行步骤之前还包括下述的手 工上料步骤: 人工放好光栅尺基带——2号气缸压紧——人工拉紧光栅尺基带——负压真空管路A 吸——5号气缸压紧— —1号气缸、 6号气缸压紧。 7.根据权利要求4或5所述的方法, 其特征在于, 当所述夹具在工作台面的水平方向上 设有平行的对应至少两条光 栅尺基带的尺槽时, 在执 行自动运行步骤之前, 还 包括: 将光刻模组预先设置图样中相间隔的至少两条平行光栅尺排布的像素信息与各所述 光栅尺基带在所述尺槽中的实际光刻区域对齐; 以及 在所述激光打标的过程中, 还 包括: 以所述光刻模组将所述图样中的刻线信息刻入相对应的光 栅尺基带 上。 8.根据权利要求7 所述的方法, 其特 征在于, 还 包括: 以读码头检测所述激光打标后所 得实际光 栅刻线效果是否合格。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 114952023 A 3

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