(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告 号
(45)授权公告日
(21)申请 号 202221753902.9
(22)申请日 2022.07.08
(73)专利权人 安徽云芯电子科技有限公司
地址 239400 安徽省滁州市明光市淮河大
道与紫阳山路交叉口处双创产业园内
D区5栋
(72)发明人 徐素佳
(51)Int.Cl.
B08B 5/02(2006.01)
B08B 5/04(2006.01)
B08B 13/00(2006.01)
(54)实用新型名称
一种芯片生产用除尘装置
(57)摘要
本实用新型公开了一种芯片生产用除尘装
置, 包括箱 体, 所述箱 体内底部固接固定块, 所述
固定块截面形状为倒U型并在两端的顶部分别固
接吸尘头, 所述吸尘头端部固接吸尘管, 所述吸
尘管与吸尘头内部连通, 所述吸尘管一侧固接吸
尘总管端部, 所述吸尘管与吸尘总管内部连通,
所述吸尘总管位于箱体外侧。 本实用新型在相对
密封的箱 体装置内进行处理, 避免受外界及其它
人为因素的影 响, 通过利用气缸的弹性带动重力
块作用到强力气吹上, 通过吹气头进行吹气, 吹
走生产区表 面的灰尘, 再通过吸气机将一些残留
的灰尘及时的排出箱体, 避免二次污染, 确保生
产区的洁净效果, 芯片安置区为镂空结构, 确保
较高的除尘率, 吸尘风机内的集尘箱可拆卸, 可
随时清理, 提高除尘效果。
权利要求书1页 说明书3页 附图3页
CN 217491968 U
2022.09.27
CN 217491968 U
1.一种芯片生产用除尘装置, 包括箱体 (1) , 其特征在于: 所述箱体 (1) 内底部固接固定
块 (3) , 所述固定块 (3) 截面形状为倒U型并在两端的顶部分别固接吸尘头 (4) , 所述吸尘头
(4) 端部固接吸尘管 (5) , 所述吸尘管 (5) 与吸尘头 (4) 内部连通, 所述吸尘管 (5) 一侧固接吸
尘总管 (6) 端部, 所述吸尘管 (5) 与吸尘总管 (6) 内部连通, 所述吸尘总管 (6) 位于箱体 (1) 外
侧, 所述吸尘总管 (6) 端部固接吸尘风机 (7) , 所述吸尘风机 (7) 与吸尘总管 (6) 内部连通, 所
述吸尘风机 (7) 一侧开设通口 (19) , 所述通口 (19) 滑动连接集尘箱 (18) , 所述集尘箱 (18) 与
吸尘风机 (7) 内部软管连通, 所述固定块 (3) 一侧顶部固接强力气吹 (9) , 所述强力气吹 (9)
固接吹气头 (10) , 所述吹气头 (10) 与强力气吹 (9) 内部连通, 所述强力气吹 (9) 与吸尘头 (4)
底部在同一水平面上。
2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘装置, 其特征在于: 所述固定块 (3) 内侧
两端分别 开设滑槽 (8) , 所述滑槽 (8) 内滑动连接长条滑块 (20) , 所述长条滑块 (20) 的数量
为两个, 两个所述长条滑 块 (20) 之间固接底板 (16) , 所述底板 (16) 端部开设拨口 (17) , 所述
底板 (16) 顶部两端分别固接支撑块 (15) , 所述支撑块 (15) 顶部固接连接块 (14) , 所述连接
块 (14) 的数量为两个, 两个所述连接块 (14) 之间固接芯片安置区 (13) , 两个所述连接块
(14) 顶面略高于芯片安置区 (13) 顶面。
3.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘装置, 其特征在于: 所述箱体 (1) 内顶部
固接气缸 (1 1) , 所述气缸 (1 1) 底部固接 重力块 (12) 。
4.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘装置, 其特征在于: 所述吸尘头 (4) 与吹
气头 (10) 朝向正对芯片安置区 (13) 。
5.根据权利要求2所述的一种芯片生产用除尘装置, 其特征在于: 所述箱体 (1) 一侧开
设通槽 (2) , 所述底板 (16) 、 长条滑块 (20) 、 支撑块 (15) 、 连接块 (14) 滑动连接通槽 (2) 。
6.根据权利要求2所述的一种芯片生产用除尘装置, 其特征在于: 所述芯片安置区 (13)
为镂空结构并中间开设安置 槽 (21) 。
7.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘装置, 其特征在于: 所述强力气吹 (9) 所
采用的材 料为弹性橡胶皮。权 利 要 求 书 1/1 页
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CN 217491968 U
2一种芯片生产用除尘装 置
技术领域
[0001]本实用新型 涉及芯片加工技 术领域, 具体为 一种芯片生产用除尘装置 。
背景技术
[0002]芯片是所有电气元件不可缺少的部分之一,芯片的好坏直接决定了电气设备性能
的强弱。 在制造 芯片时,从原材料到最后封装芯片的每个环节都不可避免的产生尘屑,整个
工序下来芯片上的积尘较多从而不得不进行除尘处理从而避免产生静电危害等能够造成
芯片严重损害的情况发生。
[0003]芯片生产区的灰尘会影响芯片加工精度,因此需要进行除尘处理,现有的除尘装
置除尘成本高,有必要 进行改进。
[0004]为此我们提出一种芯片生产用除尘装置用于解决上述问题。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种芯片生产用除尘装置, 以解决上述背景技术中提
出的问题。
[0006]为实现上述目的, 本 实用新型提供如下技术方案: 一种芯片生产用除尘装置, 包括
箱体, 所述箱体内底部固接固定块, 所述固定块截面形状为倒U 型并在两端的顶部 分别固接
吸尘头, 所述吸尘头端部固接吸尘管, 所述吸尘管与吸尘头内部连通, 所述吸尘管一侧固接
吸尘总管端部, 所述吸尘管与吸尘总管内部连通, 所述吸尘总管位于箱体外侧, 所述吸尘总
管端部固接吸尘风机, 所述吸尘风机与吸尘总管内部连通, 所述吸尘风机一侧开设通口, 所
述通口滑动连接集尘箱, 所述集尘箱与吸尘风机内部软管连通, 所述固定块一侧顶部固接
强力气吹, 所述 强力气吹固接吹气头, 所述吹气 头与强力气吹内部连通, 所述 强力气吹与吸
尘头底部在同一水平面上。
[0007]优选的, 所述固定块内侧两端 分别开设滑槽, 所述滑槽内滑动连接长条滑块, 所述
长条滑块的数量为两个, 两个所述长条滑块之 间固接底板, 所述底板端部开设拨口, 所述底
板顶部两端分别固接支撑块, 所述支撑块顶部固接连接块, 所述连接块的数量为两个, 两个
所述连接块之间固接芯片安置区, 两个所述连接块顶面略高于芯片安置区顶面。
[0008]优选的, 所述箱体内顶部固接气缸, 所述气缸底部固接 重力块。
[0009]优选的, 所述吸尘头与吹气头朝向正对芯片安置区。
[0010]优选的, 所述箱体一侧开设通槽, 所述底板、 长条滑块、 支撑块、 连接块滑动连接通
槽。
[0011]优选的, 所述芯片安置区为镂空结构并中间开设安置 槽。
[0012]优选的, 所述强力气吹所采用的材 料为弹性橡胶皮。
[0013]与现有技 术相比, 本实用新型的有益效果是:
[0014]本实用新型在相对密封的箱体装置内进行处理, 避免受外界及 其它人为因素的影
响, 通过利用气缸的弹性带动重力块作用到强力气吹上, 通过吹气 头进行吹气, 吹走生产区说 明 书 1/3 页
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专利 一种芯片生产用除尘装置
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