(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210397437.8 (22)申请日 2022.04.15 (30)优先权数据 110113729 2021.04.16 TW 111114099 2022.04.13 TW (71)申请人 由田新技股份有限公司 地址 中国台湾新北市中和区连城路268号 10楼之1 (72)发明人 邹嘉骏　林伯聪　黄冠勋　黄建文　 黄宇滕　 (74)专利代理 机构 北京维澳专利代理有限公司 11252 专利代理师 隋勤 (51)Int.Cl. G01N 21/956(2006.01)G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 整合型光学检测设备 (57)摘要 本发明提供一种整合型光学检测设备， 包含 光源装置、 摄影机装置、 光源滤镜模块、 摄影机滤 镜模块以及影像检测装置。 该光源装置经由照明 光路提供照明光至待测物上。 该摄影机装置可选 择性地于多个摄影机切换任一个该摄影机于成 像光路上以产生待测物影像。 该光源 滤镜模块可 选择性地于多个光源滤镜切换任一个该光源滤 镜于该照明光路上以过滤该照明光。 该摄影机滤 镜模块可选择性地于多个摄影机滤镜切换任一 个该摄影机滤镜于该成像光路上以过滤该照明 光。 该影像检测装置耦合至该摄影机， 以获得荧 光影像检测结果或/及单色光影 像检测结果。 权利要求书2页 说明书9页 附图10页 CN 115219523 A 2022.10.21 CN 115219523 A 1.一种整合型光学检测设备， 其特 征在于， 包 含： 一光源装置， 经由一照明光路， 提供一照明光至一待测物上； 一摄影机装置， 可选择性地于多个摄影机切换任一个该摄影机于一成像光路上， 以拍 摄该待测物， 产生 一待测物影 像； 一光源滤镜模块， 可选择性地于多个光源滤镜切换任一个该光源滤镜于该照明光路 上， 以过滤该照明光； 一摄影机滤镜模块， 可选择性地于多个摄影机滤镜切换任一个该摄影机滤镜于该成像 光路上， 以过 滤该照明光； 以及 一影像检测装置， 耦合至该摄影机， 以接收并分析该待测物影像， 以获得一影像检测结 果； 其中该影 像检测结果包括 一荧光影像检测结果或/及一单色光影 像检测结果。 2.如权利要求1所述的光学检测设备， 其特征在于， 该待测物包括半导体装置、 半导体 晶圆、 半导体芯片、 电路板、 显示 面板或其 他含有有机物的物体。 3.如权利要求1所述的光学检测设备， 其特征在于， 该光源装置包括一雷射光源， 经由 该照明光路， 提供 该照明光至该待测物上。 4.如权利要求1所述的整合型光学检测设备， 其特征在于， 该些摄影机包括线扫描摄影 机及/或面扫描摄 影机。 5.如权利要求 4所述的整合型光学检测设备， 其特 征在于， 还 包含： 一线性移动载台， 用于承载并移动该摄 影机装置； 以及 一显示设备， 连接 至该面扫描摄 影机， 以显示该面扫描摄 影机所拍摄的该待测物影 像。 6.如权利要求5所述的整合型光学检测设备， 其特征在于， 该摄影机装置包括对应设置 于该线性移动载台与该 些摄影机之间的高度调节机构。 7.如权利要求1所述的整合型光学检测设备， 其特 征在于， 该光源滤镜模块包括： 多个该光源滤镜； 以及 一光源滤镜切换装置， 可选择性地于多个该光源滤镜切换任一个该光源滤镜于该照明 光路上。 8.如权利要求1所述的整合型光学检测设备， 其特 征在于， 该摄 影机滤镜模块包括： 多个摄影机滤镜； 以及 一摄影机滤镜切换装置， 可选择性于多个该摄影机滤镜切换任一个该摄影机滤镜于该 成像光路上。 9.如权利要求7或8所述的整合型光学检测设备， 其特征在于， 所述的该光源滤镜包括 一激发光滤镜， 于该照明光路上过滤该照明光， 使该照明光的激发光波长成分通过至该待 测物上， 使该待测物产生 荧光； 以及 其中该摄影机滤镜包括一荧光滤镜， 于该成像光路上过滤该荧光， 使该荧光的波长成 分通过， 以此 该摄影机装置产生 一荧光影像。 10.如权利要求7或8所述的整合型光学检测设备， 其特征在于， 所述的该光源滤镜包括 一第一红光滤镜、 一第一绿光滤镜、 一第一蓝光滤镜或一第一白光滤镜， 经由该照明光路过 滤该照明光， 使该照明光的红光、 绿光、 蓝光或白光波长成分通过至该待测物上； 其中该摄影机滤镜包括一第二红光滤镜、 一第二绿光滤镜、 一第二蓝光滤镜或一第二权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115219523 A 2白光滤镜， 经由该成像光路过滤该照明光， 使该照明光的红光、 绿光、 蓝光或白光波长成分 通过， 以此产生 一非荧光影像。 11.如权利要求1所述的整合型光学检测设备， 其特征在于， 该光源装置包括一单色光 源， 经由该照明光路， 提供 该照明光至该待测物上。 12.如权利要求1所述的整合型光学检测设备， 其特征在于， 还包含一物镜装置， 可选择 性地于多个该物镜切换任一个该物镜 于该成像光路上。 13.如权利要求1所述的整合型光学检测设备， 其特 征在于， 还 包含： 一对焦模块； 以及 一移动载台， 依据该对焦模块的讯号调 整于该成像光路上的该物镜与 该待测物之间距 离。 14.如权利要求10所述的整合型光学检测设备， 其特征在于， 该些物镜个别的倍率介于 1倍至100倍之间。 15.如权利要求1所述的整合型光学检测设备， 其特 征在于， 还 包含： 一暗视野环形灯， 环设于该待测物的外周侧。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115219523 A 3