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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210412952.9 (22)申请日 2022.04.20 (71)申请人 华兴源创 (成 都) 科技有限公司 地址 610000 四川省成 都市高新区天勤东 街58号5栋1-2层 (72)发明人 姚宪 李靖宇 (74)专利代理 机构 北京正理专利代理有限公司 11257 专利代理师 张雪梅 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/88(2006.01) (54)发明名称 一种缺陷检测装置和方法 (57)摘要 本发明实施例公开一种缺陷检测装置和方 法, 在一个具体的示例中, 所述检测装置包括: 多 个成像单元、 采集镜头、 分光器件和处理器, 多个 所述成像单元的焦点形成于待测产品的不同位 置; 采集镜头接收待测产品的光束并通过分光器 件将光束分别传输给多个所述 成像单元, 多个所 述成像单元对来自待测产品的成像光束进行成 像, 得到焦点不同的多张图像; 所述处理器, 用于 对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷, 并根 据所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在产品的位 置。 本方法对缺陷位置判断的准确率高、 处理速 度快, 通过普通相机进行拍摄, 降低了检测成本, 且多台成像单元布置于同一侧, 节约了空间, 从 而弥补了现有技 术中存在的问题。 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 CN 115015112 A 2022.09.06 CN 115015112 A 1.一种缺陷检测装置, 其特 征在于, 所述检测装置包括: 多个成像单 元、 采集镜 头、 分光器件和处 理器, 多个所述成像单 元的焦点形成于待测产品的不同位置; 采集镜头接收待测产品的光束 并通过分光器件将光束分别传输给多个所述成像单元, 多个所述成像单 元对来自待测产品的成像光束 进行成像, 得到焦点 不同的多张图像; 所述处理器, 用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷, 并根据所述缺陷的清晰 度确定所述 缺陷在产品的位置 。 2.根据权利要求1所述的检测装置, 其特 征在于, 所述采集镜头包括第一镜筒, 所述成像单元包括第一成像单元与第二成像单元, 所述 第一成像单元包括第二镜筒和 第一相机组件, 所述第二成像单元包括第三镜筒和 第二相机 组件, 所述第一镜筒用于接 收所述待测产品的成像光束, 所述分光器件用于将所述成像光 束的一部分分光至所述第二镜筒并将所述成像光束的另一部分分光至所述第三镜筒; 所述 第二镜筒用于将所述成像光束的一部分输出至第一相机组件, 所述第三镜筒用于将所述成 像光束的另一部分输出至所述第二相机组件。 3.根据权利要求2所述的检测装置, 其特 征在于, 所述第二成像单元还包括反射镜和第四镜筒, 所述分光器件用于将所述成像光束的另 一部分分光至所述第四镜筒, 所述第四镜筒用于将所述成像光束的另一部 分输出至所述反 射镜, 所述反射镜用于将所述成像光束的另一部分反射至所述第三镜筒。 4.根据权利要求1 ‑3任一项所述的检测装置, 其特 征在于, 所述分光器件为半透半反镜 。 5.根据权利要求2所述的检测装置, 其特 征在于, 所述处理器, 用于对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷, 并根据所述缺陷的清晰 度确定所述 缺陷在产品的位置包括: 判断多张所述图像中的所述 缺陷的清晰度的关系: 若第一图像中的所述缺陷的清晰度高于第 二图像中的所述缺陷的清晰度, 则判定所述 缺陷位于所述第一成像单 元的焦点所对应的待测产品的第一 位置; 若所述第二图像中的所述缺陷的清晰度高于所述第 一图像中的所述缺陷的清晰度, 则 判定所述 缺陷位于所述第二成像单 元的焦点所对应的待测产品的第二 位置。 6.根据权利要求1所述的检测装置, 其特征在于, 通过标准差法判断所述图像中缺陷的 清晰度: 遍历图像中缺陷区域各像素点的灰度值, 根据公式(1)计算该图像的灰度标准差σ: 其中, n表示区域内像素点的个数, xi表示区域内第i个像素点对应的灰度值, 表示区 域内像素点灰度值的均值; 所述缺陷区域的灰度标准差σ 与所述 缺陷的清晰度正相关。 7.根据权利要求1所述的检测装置, 其特 征在于,权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115015112 A 2通过梯度法判断所述 图像中的所述缺陷的清晰度, 利用公式(2) ‑(4)对图像中缺陷区 域像素的梯度值进行计算: ▽G(x, y)=|Gx|+|Gy| ……(2) 其中, x和y分别为点(x, y)在图像中的坐标, Gx表示该区域在像素点(x, y)处x方向上的 梯度; Gy表 示该区域在像素点(x, y)处y方向上的梯度, 绝对值表 示梯度的近似式, ▽G(x, y) 表示点(x, y)处的梯度向量的值; 遍历缺陷区域内各个点的梯度值, 利用公式(5)计算所述缺陷区域的梯度量化参考值 GT: 其中, (Xstart, Ystart)为所述缺陷区域的起始点, (Xend, Yend)为所述缺陷区域的终点; 所述缺陷区域的梯度量 化参考值与所述 缺陷的清晰度呈正相关。 8.根据权利要求2所述的检测装置, 其特征在于, 所述第 一相机组件与 所述第二相机组 件轴线平行并列设置 。 9.根据权利要求1所述的检查装置, 其特 征在于, 所述检测装置还 包括, 光源, 用于照射所述待测产品以使得照射 光束在所述待测产品反射形成 成像光束。 10.一种基于如权利要求1 ‑9中任一项所述的检测装置的缺陷检测方法, 其特征在于, 包括: 多个所述成像单 元对来自待测产品的成像光束 进行成像, 得到焦点 不同的多张图像; 对多张所述图像进行缺陷识别以得到缺陷, 并根据 所述缺陷的清晰度确定所述缺陷在 产品的位置 。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115015112 A 3
专利 一种缺陷检测装置和方法
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