(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210447469.4 (22)申请日 2022.04.27 (71)申请人 泉州装备制造 研究所 地址 362000 福建省泉州市台商投资区洛 阳镇上浦村吉贝51 1号 (72)发明人 吴飞斌　韩军　龙晋桓　戈畅　 (74)专利代理 机构 泉州市宽 胜知识产权代理事 务所(普通 合伙) 35229 专利代理师 廖秀玲 (51)Int.Cl. G01N 21/47(2006.01) G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01M 11/02(2006.01) (54)发明名称 一种基于光散射的光学检测方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于光散射的光学检测 方法， 涉及光学检测技术领域， 通过光源发出入 射光波到达扫描振镜旋转镜片上的第一入射点； 所述入射光波在到达扫描振镜旋转镜片前经过 滤波准直镜组， 入射光波通过滤波准直镜组准直 滤波后， 到达扫描振镜旋转镜片上的第一入射 点； 定制光学反射模块， 通过定制的光学反射模 块将入射光波反射到被测光学元件上的第二入 射点； 以第二入射点为圆心， 半径为R的圆形轨迹 上， 布置若干个二维光电传感器， 实时采集被测 光学元件所产生的不同角度的散射光； 通过对采 集到的散射光数据进行处理和计算， 获得该被测 光学元件的缺陷结构信息 。 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 CN 114813645 A 2022.07.29 CN 114813645 A 1.一种基于光散射的光学检测方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 步骤一： 通过光源 （100） 发出入射光波 （101） 到达扫描振镜旋转镜片 （103） 上的第一入 射点； 步骤二： 定制光学反射模块 （104） ， 通过定制的光学反射模块 （104） 将入射光波 （101） 反 射到被测光学 元件 （105） 上的第二入射 点； 步骤三： 以第二入射点为圆心， 半径为R的圆形轨迹上， 布置若干个二维光电传感器 （107） ， 实时采集被测光学 元件 （105） 所产生的不同角度的散射 光； 步骤四： 通过对采集到的散射光数据进行处理和计算， 获得该被测光学元件 （105） 的缺 陷结构信息 。 2.根据权利要求1所述的一种基于光散射的光学检测方法， 其特征在于， 所述入射光波 （101） 在到达扫描振镜旋转镜片 （103） 前经过滤波准直镜组 （110） ， 入射光波 （101） 通过滤波 准直镜组 （1 10） 准直滤波后， 到 达扫描振镜 旋转镜片 （10 3） 上的第一入射 点。 3.根据权利要求2所述的一种基于光散射的光学检测方法， 其特征在于， 将第 一入射点 标记为F1点 （102） ， 将第二入射点标记为F2点 （106） ； 且F1点 （102） 和F2点 （106） 位于同一个 椭圆轨迹 （108） 的两个焦点位置， 即椭圆轨迹 （108） 上的任意点到F1点 （102） 和F2点 （106） 的 距离之和为恒定的常数， 且入射激光的入射方向与F1点 （102） 和F2 点 （106） 的连线位于同一 直线上。 4.根据权利要求3所述的一种基于光散射的光学检测方法， 其特征在于， 所述光学反射 模块 （104） 由若干个反射镜片组成， 且每个反射镜片均安装于椭圆轨迹 （108） 上； 所述反射 镜片为内凹面弧形结构， 且每个反射镜片在椭圆轨迹 （108） 上的安装角度， 满足每个反射镜 片上的入射 光经过反射镜片的反射后， 全部反射至F2点 （10 6） 上。 5.根据权利要求4所述的一种基于光散射的光学检测方法， 其特征在于， 所述光学反射 模块 （104） 的定制过程包括： 将F1点 （102） 到F2点 （106） 之间的距离标记为L； 设定入射角度的步进数为n， 则每次控 制扫描振镜 旋转镜片 （10 3） 的倾斜角度分别为 Qi； 将每个反射镜片上的反射点分别标记为M1， M2， ……Mn， 并将反射点M1对应的反射镜片 标记为M1镜片， 反射 点M2对应的反射镜片标记为M2镜片， 以此类 推； 则设定反射点M1与F1点 （102） 的连线和反射点Mn与F2点 （106） 的连线分别为垂直于F1 点 （102） 与F2点 （106） 的连线方向； 则M1镜片与Mn镜片之间的距离等于F1点 （102） 与F2点 （106） 的距离L； 设定光学反射模块 （104） 上M1镜片与F1的距离为 L1， M1镜片到F2点 （10 6） 的距离为 L2； 所述入射光波 （101） 入射到扫描振镜旋转镜片 （103） 的F1点 （102） 处， 扫描振镜旋转镜 片 （103） 与入射光的夹角为Q1=45 °时， 反射光束入射到光学反射模块 （104） 的M1镜片位置， 且反射光束与入射 光束成90 °； 从而获得M1镜片与水平反射角度为β 1； 设置光学反射模块 （104） 的Mn镜片的位置与M1镜片的位置保持同一水平面， 即反射点 Mn到F2点 （106） 的距离为L1； 则获得Mn镜片与水平方向的角度β n以及入射光波 （101） 入射到 扫描振镜 旋转镜片 （10 3） 的角度则为 Qn； 从而获得扫描振镜 旋转镜片 （10 3） 每次旋转的角度步进量； 则扫描振镜旋转镜片 （103） 第i次旋转测量时的入射光波 （101） 与扫描振镜旋转镜片权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114813645 A 2（103） 的夹角 角度。 6.根据权利要求5所述的一种基于光散射的光学检测方法， 其特征在于， 所述二维光电 传感器 （107） 采集被测光学 元件 （105） 所产生的不同角度的散射 光的过程包括： 将被测光学元件 （105） 放置在三维运动控制平台 （109） 上， 控制三维运动控制平台 （109） 将被测光学 元件 （105） 移入F2点 （10 6） 位置； 以F2点 （106） 为圆心， 半径为R的圆形轨迹上， 布置m个二维光电传感器 （107） ， m个所述 二维光电传感器 （107） 在圆形轨迹上的等距分布； 通过m个二维光电传感器 （107） 将实时采 集不同角度的散射 光强信息 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114813645 A 3