(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210733693.X (22)申请日 2022.06.27 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114820601 A (43)申请公布日 2022.07.29 (73)专利权人 合肥新晶集成电路有限公司 地址 230012 安徽省合肥市新站区综合保 税区内西淝河路8 8号 (72)发明人 谢金涛　 (74)专利代理 机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 姚姝娅 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06V 10/74(2022.01) G06K 9/62(2022.01)(56)对比文件 CN 114420619 A,202 2.04.29 CN 112767396 A,2021.0 5.07 CN 1040215 58 A,2014.09.0 3 CN 108174087 A,2018.0 6.15 CN 111403318 A,2020.07.10 CN 102005054 A,201 1.04.06 CN 110136083 A,2019.08.16 US 201919840 3 A1,2019.0 6.27 US 2011038527 A1,201 1.02.17 刘素苹.一种提高指纹识别率的多 模板方法 的研究与实现. 《中国优秀硕士学位 论文全文数 据库 (信息科技 辑)》 .2017,(第3期),全 文. Sen Wang 等.Wafer Defect Map Similarity Searc h using Deep Learn ing in Semiconductor Manufacturi ng. 《2021 C hina Semiconductor Tec hnology Internati onal Conference (CSTIC)》 .2021,全 文. 审查员 康环环 (54)发明名称 目标图像的更新方法及系统、 晶圆检测方法 和计算机设备 (57)摘要 本发明涉及一种目标图像的更新方法及系 统、 晶圆检测方法和计算机设备。 目标图像的更 新方法包括： 获取待测晶圆的光学图像， 基于待 测晶圆的光学图像得到参考图像及参考图像的 灰度； 将参考图像的灰度与目标图像的灰度进行 比对， 判断参考图像与目标图像的灰度差是否位 于第一预设范围内， 若是， 将参考图像及参考图 像的灰度保存； 重复上述各步骤若干次， 以保存 多张参考图像及参考图像的灰度； 将多张参考图 像进行拟合， 以得到平均参考图像及平均参考图 像的灰度； 将平均参考图像的灰度与目标图像的 灰度进行比对， 判断平均参考图像与目标图像的 灰度差值是否位于第二预设范围内， 若是， 将目 标图像进行更新替换， 将平均参考图像作为新的目标图像 。 权利要求书2页 说明书10页 附图3页 CN 114820601 B 2022.09.16 CN 114820601 B 1.一种目标图像的更新方法， 其特 征在于， 包括： 获取待测晶圆的光学图像， 基于所述待测晶圆的光学图像得到参考图像及所述参考图 像的灰度； 将所述参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对， 判断所述参考图像与 所述目标图 像的灰度差是否位于第一预设范围内， 若是， 将所述 参考图像及所述 参考图像的灰度保存； 重复以上 所有步骤若干次， 以保存多张参 考图像及参 考图像的灰度； 将多张参 考图像进行拟合， 以得到平均参 考图像及所述平均参 考图像的灰度； 将所述平均参考图像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对， 判断所述平均参考图像 与所述目标图像的灰度差值是否位于第二预设范围内， 若是， 将所述 目标图像进行更新替 换， 将所述平均参 考图像作为 新的目标图像。 2.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法， 其特征在于， 所述获取待测晶圆的光学 图像， 基于所述待测晶圆的光学图像得到参 考图像及参 考图像的灰度， 包括： 获取所述待测晶圆的光学图像， 所述待测晶圆的光学图像中包括多个间隔排布的芯片 区域； 对所述待测晶圆的光学图像进行 灰度计算； 于所述待测晶圆的光学图像 内选择多个所述芯片区域进行训练拟合， 以得到所述参考 图像及所述 参考图像的灰度。 3.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法， 其特征在于， 第 一张目标图像及第 一张 目标图像的灰度的获取 方法包括： 获取目标晶圆的光学图像， 所述目标晶圆的光学图像中包括多个间隔排布的芯片区 域； 对所述目标晶圆的光学图像进行 灰度计算； 于所述目标晶圆的光学图像 内选择多个所述芯片区域进行训练拟合， 以得到所述第 一 张目标图像及所述第一张目标图像的灰度。 4.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法， 其特征在于， 将所述参考图像的灰度与 目标图像的灰度进行比对， 判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位于第一预设 范围内之后， 还 包括： 若否， 则舍弃 所述参考图像。 5.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法， 其特征在于， 将所述平均参考图像的灰 度与所述目标图像的灰度进行比对， 判断所述平均参考图像与所述目标图像的灰度差值是 否位于第二预设范围内之后， 还 包括： 若否， 则发出报警信息 。 6.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法， 其特征在于， 将多张参考图像进行拟 合， 以得到平均参考图像及所述平均参考图像的灰度的过程中， 拟合的参考图像的张数大 于100张。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的目标图像的更新方法， 其特征在于， 将所述目标 图像进行 更新替换， 将所述平均参 考图像作为 新的目标图像之后， 还 包括： 在预设时间 间隔后， 获取新的待测晶圆的光学图像， 重复上述各步骤。 8.一种目标图像的更新系统， 其特 征在于， 包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114820601 B 2图像获取模块， 用于获取待测晶圆的光学图像； 处理模块， 与所述图像获取模块相连接， 用于基于所述待测晶圆的光学图像得到参考 图像及所述 参考图像的灰度； 存储模块， 用于存 储目标图像及目标图像的灰度； 第一比较判断模块， 与所述处理模块及所述存储模块相连接， 用于将所述参考图像的 灰度与所述目标图像的灰度进 行比对， 判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位 于第一预设范围内； 图像保存模块， 与所述第一比较判断模块相连接， 用于在所述参考图像与所述目标图 像的灰度差位于第一预设范围内时， 将所述 参考图像及所述 参考图像的灰度保存； 拟合模块， 与所述图像保存模块相连接， 用于将多张参考图像进行拟合， 以得到平均参 考图像及所述平均参 考图像的灰度； 第二比较判断模块， 与所述拟合模块及所述存储模块相连接， 用于将所述平均参考图 像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对， 判断所述平均参考图像与所述目标图像的灰度 差值是否位于第二预设范围内； 更新替换模块， 与所述第二比较判断模块及所述存储模块相连接， 用于在所述平均参 考图像与所述目标图像的灰度差值位于第二预设范围内时， 将所述目标图像进行更新替 换， 将所述平均参 考图像作为 新的目标图像更新存 储于所述存 储模块内。 9.一种晶圆检测方法， 其特 征在于， 包括： 获取待测晶圆的光学图像， 基于所述待测晶圆的光学图像得到参考图像及所述参考图 像的灰度； 将所述参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对， 判断所述参考图像与 所述目标图 像的灰度差是否位于第三预设范围内； 若是， 则判定所述待测晶圆上没有缺陷； 若否， 则判 定所述待测晶圆上存在缺陷； 其中， 所述目标图像为采用如权利要求1至7中任一项所述的目标图像的更新方法实时 更新后的目标图像。 10.一种计算机设备， 包括存储器和 处理器， 所述存储器存储有计算机程序， 其特征在 于， 所述处 理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。 11.一种计算机可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 所述计算机程序 被处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114820601 B 3