(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211079345.1 (22)申请日 2022.09.05 (71)申请人 武汉精立电子技 术有限公司 地址 430205 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区流芳园南路2 2号 申请人 武汉精测电子集团股份有限公司 (72)发明人 万光继　张虎　 (74)专利代理 机构 武汉智权专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 42225 专利代理师 余浩 (51)Int.Cl. H04N 5/217(2011.01) H04N 5/265(2006.01) H04N 5/14(2006.01) G06T 3/40(2006.01)G06V 10/74(2022.01) (54)发明名称 一种高精度运动误差补偿方法、 装置、 设备 及存储介质 (57)摘要 本发明公开了一种高精度运动误差补偿方 法、 装置、 设备及存储介质， 涉及光学缺陷检测技 术领域。 其中， 高精度运动误差补偿方法， 包括以 下步骤： 采集运动轴具有重叠区域的多个图像 帧， 并记录采集位置的参考坐标； 基于所述图像 帧， 通过图像拼接算法计算采集位置的实际坐 标； 根据采集位置的参考坐标和实际坐标的位置 偏差， 对运动轴进行运动误差补偿。 本发明可有 效地消除运动误差 。 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 CN 115150525 A 2022.10.04 CN 115150525 A 1.一种高精度运动误差补偿方法， 其特 征在于， 该 方法包括以下步骤： 采集运动轴具有重 叠区域的多个图像帧， 并记录采集 位置的参 考坐标； 基于所述图像帧， 通过图像拼接算法计算采集 位置的实际坐标； 根据采集 位置的参 考坐标和实际坐标的位置偏差， 对运动轴进行运动误差补偿。 2.根据权利要求1所述的一种高精度运动 误差补偿方法， 其特征在于， 所述基于所述图 像帧， 通过图像拼接算法计算采集 位置的实际坐标， 包括： 根据图像拼接算法， 计算出每帧位置的精确图像坐标； 基于采集图像帧时的像素比和每帧位置的精确图像坐标的乘积， 计算采集位置的实际 坐标。 3.根据权利要求2所述的一种高精度运动 误差补偿方法， 其特征在于， 所述根据图像拼 接算法， 计算出每帧位置的精确图像坐标， 包括： 将与当前帧存在重 叠区域的图像帧作为待拼接帧， 并与当前帧形成计算对； 基于相似度值， 确定每一计算对的偏移 距离； 以相似度值最高的计算对对应的偏移距离， 作为当前帧的可靠偏移， 以计算当前帧的 精确图像坐标。 4.根据权利要求3所述的一种高精度运动 误差补偿方法， 其特征在于， 所述基于相似度 值， 确定每一计算对的偏移 距离， 包括： 计算每一计算对当前帧和对应的待拼接帧的图像功率频谱； 根据当前帧和待拼接帧的图像功率频谱， 计算每一计算对的交叉功率谱； 结合交叉功率谱中多个局部极大值的偏移距离， 将当前帧和待拼接帧的图像功率频谱 进行傅里叶反变换到空域中， 做相似度计算； 选择相似度值最高的一组偏移距离， 作为每一计算对当前帧和待拼接帧的图像功率频 谱的偏移 距离。 5.根据权利要求1至3中任一项所述的一种高精度运动误差补偿方法， 其特征在于， 所 述根据采集 位置的参 考坐标和实际坐标的位置偏差， 对运动轴进行运动误差补偿， 包括： 计算每一采集 位置下的参 考坐标和实际坐标的位置偏差； 根据所有采集位置下的位置偏差， 拟合出位置偏差在各个方向上随着运动距离的误差 曲线。 6.根据权利要求1所述的一种高精度运动误差补偿方法， 其特 征在于： 所述运动轴在移动过程中还 承载有晶圆。 7.根据权利要求1所述的一种高精度运动 误差补偿方法， 其特征在于， 所述采集运动轴 具有重叠区域的多个图像帧， 包括： 控制运动轴沿运动方向周期性移动一设定的距离； 在多个采集 位置采集 运动轴的图像， 并使采集到的图像帧存在重 叠区域。 8.一种高精度运动误差补偿装置， 其特 征在于， 包括： 采集模块， 其用于采集运动轴具有重叠区域的多个图像帧， 并记录采集位置的参考坐 标； 计算模块， 其基于所述图像帧， 通过图像拼接算法计算采集 位置的实际坐标； 补偿模块， 其根据采集位置的参考坐标和实 际坐标的位置偏差， 对运动轴进行运动误权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115150525 A 2差补偿。 9.一种设备， 其特征在于， 所述设备包括处理器、 存储器、 以及存储在所述存储器上并 可被所述处理器执行 的计算机程序， 其中所述计算机程序被所述处理器执行时， 实现如权 利要求1至7中任一项所述的一种高精度运动误差补偿方法的步骤。 10.一种计算机可读存储介质， 其特征在于， 所述计算机可读存储介质上存储有计算机 程序， 其中所述计算机程序被处理器执行时， 实现如权利要求1至7中任一项所述的一种高 精度运动误差补偿方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115150525 A 3