(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211044018.2 (22)申请日 2022.08.30 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司 地址 100176 北京市大兴区经济技 术开发 区文昌大道8号 (72)发明人 刘宇　董金卫　姚晶　杨帅　 董曼飞　陈振伟　 (74)专利代理 机构 北京国昊天诚知识产权代理 有限公司 1 1315 专利代理师 周永强 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 7/00(2006.01)B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 23/06(2006.01) F26B 25/00(2006.01) (54)发明名称 零部件的处 理方法 (57)摘要 本申请公开了一种零部件的处理方法， 涉及 半导体领域。 一种零部件的处理方法， 包括： 将零 部件放入除污腔室中进行第一次除污； 对经过第 一次除污后的零部件进行超声清洗， 并进行去离 子水冲洗， 以对零部件进行第二次除污； 对经过 两次除污后的零部件进行干燥。 本申请至少能够 解决当前对于零部件处 理效果不佳等问题。 权利要求书2页 说明书8页 附图1页 CN 115245926 A 2022.10.28 CN 115245926 A 1.一种零部件的处 理方法， 其特 征在于， 所述处 理方法包括： 将零部件放入除污腔室中进行第一次除污； 对经过第一次除污后的所述零部件进行超声清洗， 并进行去离子水冲洗， 以对所述零 部件进行第二次除污； 对经过两次除污后的所述 零部件进行干燥。 2.根据权利要求1所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述经过第 一次除污后的所 述对零部件进行超声清洗， 并进行去离 子水冲洗， 包括： 将所述零部件浸入复合清洗剂中进行第一次超声清洗， 并进行第一次去离 子水冲洗； 将经过第一次去离子水冲洗后的所述零部件浸入HF酸和臭氧水混合溶液中进行第二 次超声清洗， 并进行第二次去离 子水冲洗 。 3.根据权利要求2所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述复合清洗剂包括盐酸、 硝酸和去离 子水。 4.根据权利要求3所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述复合清洗剂中盐酸、 硝 酸和去离 子水的体积比为1： (1～3)： (2 ～10)。 5.根据权利要求2所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述HF酸和臭氧水混合溶液 中， HF酸的质量浓度为1％～3％， 臭 氧水的质量浓度为10p pm～30ppm。 6.根据权利要求2所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述第 一次超声清洗的条件 包括： 超声频率 为40～80KH z， 循环滤芯≤ 0.2 μm， 浸泡时间为5mi n～10min； 和/或， 所述第一次去离子水冲洗的条件包括： 冲洗时间为6min～10min， 排水时间为2s ～4s； 和/或， 所述第二次超声清洗的条件包括： 超声频率为60～120KHz， 循环滤芯≤0.2 μm， 浸泡时间为3mi n～5min； 和/或， 所述第二次去离子水冲洗的条件包括： 冲洗时间为6min～10min， 排水时间为2s ～4s。 7.根据权利要求1所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述除污腔室为紫外光催 化‑臭氧腔室； 所述紫外光催化 ‑臭氧腔室中的灯管的功率 为20W～40W， 处 理时间为5mi n～20min。 8.根据权利要求1所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述对经过两次除污后的零 部件进行干燥， 包括： 对所述零部件表面进行第一次吹扫， 并进行烘烤； 对经过烘烤后的所述 零部件进行第二次吹扫。 9.根据权利要求8所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述对所述零部件表面进行 第一次吹扫， 包括： 采用滤膜孔径不大于 0.1 μm的过 滤器对氮气进行 过滤； 采用过滤后的氮气对所述 零部件表面进行 所述第一次吹扫； 和/或， 所述进行烘烤， 包括： 将经过所述第一次吹扫的所述零部件放入干燥箱中进行烘烤， 其中， 烘烤的温度为80 ℃～100℃， 烘烤的时间为3 0min～60min； 和/或， 所述对所述 零部件进行第二次吹扫， 包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115245926 A 2采用滤膜孔径不大于 0.1 μm的过 滤器对氮气进行 过滤； 采用过滤后的氮气对所述 零部件的表面进行 所述第二次吹扫； 其中， 所述第一次吹扫及所述第二次吹扫所使用的氮气的纯度均为99.99％～ 99.999％。 10.根据权利要求1所述的零部件的处理方法， 其特征在于， 所述零部件为至少带有微 细孔或凹陷结构的复杂结构的零部件。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115245926 A 3