(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211116548.3 (22)申请日 2022.09.14 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230601 安徽省合肥市经济技 术开发 区空港工业园兴业大道38 8号 (72)发明人 刘梦　 (74)专利代理 机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 李援开 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 光罩清洁装置 (57)摘要 本公开涉及一种光罩清洁装置， 光罩清洁装 置包括： 支撑架、 夹持机构、 以及清洗器。 清洗器 工作， 在动力部的驱动下， 溶剂腔内的清洗溶剂 通过清洗头喷出到待清洗部位， 便能将待清洗部 位处的异物去除干净， 相对于传统的采用高压气 枪的强力吹扫清除方式而言， 通过清洗溶剂进行 局部定位清洁操作， 对异物的清洗效果较好， 且 清洗效率较高， 此外能避免高压导致保护膜破 损， 从而能大大降低成本。 此外， 处理面倒置方式 有利于减少particle对膜面二次损伤。 另外， 通 过转动夹持机构， 翻转调整处理面， 既可 以对保 护膜清洁处理， 又可以对光罩的玻璃面清洁处 理， 操作方便， 安全快捷。 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 CN 115318727 A 2022.11.11 CN 115318727 A 1.一种光 罩清洁装置， 其特 征在于， 所述 光罩清洁装置包括： 支撑架， 所述支撑架设有轨道组件； 夹持机构， 所述夹持机构用于夹持待清洁处理的光罩， 所述夹持机构与所述支撑架转 动相连； 以及 清洗器， 所述清洗器包括溶剂腔、 与所述溶剂腔相连通的清洗头、 以及动力部， 所述动 力部用于使得所述溶剂腔内部的清洗溶剂通过所述清洗头向外喷出； 所述清洗器位于所述 夹持机构的下方， 所述清洗头用于对着所述光罩的待清洗部位； 所述清洗器可移动地连接 于所述轨道组件。 2.根据权利要求1所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述清洗器为超声清洗器或电脉 冲清洗器。 3.根据权利要求1所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述清洗器还包括设置于所述清 洗头外部的过滤网。 4.根据权利要求1所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述清洗器包括相对设置的第 一 端与第二端， 所述第一端设置有 所述清洗头， 所述第二端与所述轨道组件相连， 所述第一端 与所述第二端的距离可调； 或者， 所述清洗器通过升降机构与所述轨道组件相连。 5.根据权利要求1所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述光罩清洁装置还包括距离感 应器与控制器， 所述控制器分别与所述距离感应器、 所述清洗器电性连接； 所述距离感应器 用于感应所述清洗头与所述待清洗部位的间距， 所述控制器用于根据所述清洗头与所述待 清洗部位的间距调整所述清洗 头向外喷出的清洗溶剂的喷滚高度。 6.根据权利要求1所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述清洗头设有出液部， 所述出 液部的直径为1m m‑10mm。 7.根据权利要求1所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述轨道 组件包括沿着第 一方向 设置的第一导轨以及沿着第二方向设置的第二导轨； 所述清洗器滑动地设置于所述第一导 轨上， 所述第一导轨滑动地设置于所述第二导轨上； 所述第一方向、 所述第二方向均平行于 所述光罩的保护膜或玻璃面。 8.根据权利要求7所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述第 一方向与 所述第二方向相 互垂直。 9.根据权利要求8所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述支撑架包括第 一框体与第 二 框体； 所述第二框体通过至少一个支柱与所述第一框体相连并位于所述第一框体的上方； 所述夹持机构与第二框体转动相连； 所述第二 导轨与所述第一框体相连。 10.根据权利要求9所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述第一框体与所述第二框体 均设置为方形框体， 且所述第一框体与所述第二框体的形状相同； 所述第一框体与所述第 二框体均包括沿着第一方向设置的两个相对的第一框边以及沿着第二方向设置的两个相 对的第二框边， 所述第一框边与所述第二框边相连； 所述第一框边上设有第一刻度标记， 所 述第二框边上设有第二刻度标记。 11.根据权利要求10所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 将所述第 一框体的两个第 一框 边的中点连线设为第一中轴线， 将所述第二框体的两个第一框边的中点连线设为第二中轴 线； 所述夹持机构以所述第二中轴线为轴转动； 所述第一框体上 的第一刻度标记与第二刻 度标记均关于所述第一中心轴线镜像设置， 所述第二框体上的第一刻度标记与第二刻度标权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115318727 A 2记均关于所述第二中心轴线镜像设置 。 12.根据权利要求10所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述夹持机构包括夹持固定所 述光罩的两个夹持框； 其中一个所述夹持框与所述光罩的玻璃板的其中一侧 面抵接固定， 另一个所述夹持框与所述玻璃板的另一侧面抵 接固定。 13.根据权利要求12所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 两个所述夹持框的其中一侧边 通过转动轴与所述支撑架转动相连； 两个所述夹持框的另一相对侧 边之间设有限位器， 所 述限位器用于与光 罩的边沿抵 接固定。 14.根据权利要求1所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述光罩清洁装置还包括图像 撷取机构； 所述图像撷取机构用于获取 所述夹持机构夹持的光 罩的图像信息 。 15.根据权利要求14所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述光罩清洁装置还包括报 警 器与控制器； 所述控制器分别与所述报警器、 所述图像撷取机构电性连接， 所述控制器用于 根据所述图像撷取机构获取的图形信息判断所述光罩的表面上是否存在异物， 在判断到所 述光罩的表面上存在异 物时控制所述报警器报警动作。 16.根据权利要求14所述的光罩清洁装置， 其特征在于， 所述光罩清洁装置还包括驱动 机构与控制器； 所述控制器分别与所述图像撷取机构、 所述驱动机构、 所述清洗器电性连 接； 所述驱动机构与所述清洗器相连， 用于驱动所述清洗器在所述轨道组件上移动； 所述控 制器用于根据所述图像撷取机构获取的图像信息判断所述光罩的表面上是否存在异物， 在 判断到所述光罩的表 面上存在异物时确定出所述异物的坐标位置， 根据所述异物的坐标位 置控制所述驱动机构动作调整所述清洗器的位置， 以及控制所述清洗器进行工作。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115318727 A 3