(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211177026.4 (22)申请日 2022.09.26 (71)申请人 北京半导体专用设备研究所 （中国 电子科技 集团公司第四十五研究 所） 地址 100176 北京市北京经济技 术开发区 泰河三街1号 (72)发明人 陶利权　陈学森　杨晓静　高清勇　 王伟　井海石　张文斌　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 肖鹏 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/06(2006.01)B08B 13/00(2006.01) F26B 11/04(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/16(2006.01) (54)发明名称 圆筒机构及甩干 机 (57)摘要 本申请涉及湿 法清洗技术领域， 尤其是涉及 一种圆筒机构及甩干机， 包括： 圆筒主体， 圆筒主 体包括在圆筒主体的轴向上的第一端部； 第一盖 构件， 可拆卸地盖设于第一端部； 第一密封件的 至少部分被夹设于第一盖构 件和第一端部之间， 以密封第一盖构件和第一端部 之间的间隙； 第二 盖构件， 第二盖构件可拆卸地盖设于第一盖构 件 的背对第一端部的侧部； 第二密封件的至少部分 被夹设于第一盖构件和第二盖构 件之间， 相对于 现有技术， 降低了加工难度并且规避了存在难于 焊接的部位的情况， 避免了隐性渗漏现象的出 现， 尤其是避免了圆筒腔内多处组件间的密封焊 接处因材质及焊接工艺等因素而出现的颗粒杂 质的析出现象的出现， 因此能够满足圆筒腔内对 洁净度的要求。 权利要求书2页 说明书8页 附图12页 CN 115430647 A 2022.12.06 CN 115430647 A 1.一种圆筒机构， 其特 征在于， 所述圆筒机构用于甩干 机， 所述圆筒机构包括： 圆筒主体， 所述圆筒 主体包括在所述圆筒 主体的轴向上的第一端部； 第一盖构件， 可拆卸地盖设于所述第一端部； 第一密封件， 所述第 一密封件的至少部分被夹设于所述第 一盖构件和所述第 一端部之 间， 以密封所述第一盖构件和所述第一端部之间的间隙； 第二盖构件， 所述第 二盖构件可拆卸地盖设于所述第 一盖构件的背对所述第 一端部的 侧部； 第二密封件， 所述第 二密封件的至少部分被夹设于所述第 一盖构件和所述第 二盖构件 之间， 以密封所述第一盖构件和所述第二盖构件之间的间隙。 2.根据权利要求1所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述圆筒机构还包括排水构件， 所述圆筒主体包括孔部， 所述孔部设置于所述圆筒主 体的侧部的靠 近所述第一端部的一侧， 所述 排水构件与所述 孔部可拆卸地连接 。 3.根据权利要求1所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述圆筒主体还包括在所述 圆筒主体的轴向上的第 二端部， 所述第 一端部与 所述第二 端部彼此相对， 所述第二端部包括依次相接的环形表面和外圆柱 表面， 以形成阶梯部， 所述圆筒机构还包括与所述圆筒主体连接的第二支架， 所述第二支架包括安装孔， 所 述第二支架抵接于所述环形表面， 所述安装孔套设于所述外圆柱表面， 所述第二支架与所 述第二端部的端面平齐。 4.根据权利要求3所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述圆筒主体还包括视窗组件， 所述视窗组件铰接于所述第二支架， 以封 闭以及开启 所述圆筒 主体的所述第二端部侧的开口， 所述视窗组件包括视窗主体和第 三密封件， 所述第 三密封件被夹设于所述视窗主体和 所述第二端部之间， 以在所述视窗组件封闭所述圆筒主体的所述第二端部侧的开口时密封 所述开口。 5.根据权利要求 4所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述第三密封件包括密封圈， 所述密封圈的部分嵌入到所述视窗主体内， 所述第二端 部包括圆弧面， 所述圆弧面开设于所述第二端部的端面与所述圆筒主体的内表面的交界 处， 并用于与所述密封圈抵 接。 6.根据权利要求5所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述视窗主体包括壳体和视窗构件， 所述壳体包括彼此连通的通孔和容纳部， 所述视 窗构件包括嵌入到所述容纳部当中的安装部和相对于所述安装部 向着背对所述壳体的方 向凸出的凸出部， 所述凸出部与所述 安装部的连接处设置有用于嵌入所述密封圈的槽 部。 7.根据权利要求6所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述壳体和所述视窗构件分别包括位置对应的第 一腰型孔和第 二腰型孔， 所述壳体还 包括环形槽， 所述第一腰型孔延伸穿过所述环形槽， 以使得所述第一腰型孔的两端均位于 所述环形槽的外 部， 所述圆筒机构还包括手柄组件、 检测传感器和锁块， 所述锁块设置于所述第 二支架， 所 述手柄组件可旋转地与所述锁块连接， 所述手柄组件具有与所述第一腰型孔的形状相同的 形状， 所述手柄组件包括弹性部， 所述弹性部被设置为在所述手柄组件旋转时能够在所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115430647 A 2环形槽内滑动， 以迫紧所述视窗主体， 以及所述弹性部还被设置为能够悬设于第一腰型孔 内； 所述检测传感器与所述锁块连接， 用于检测所述视窗组件的距离， 以感应所述视窗组 件的开合状态。 8.根据权利要求3所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述圆筒机构还包括第 一支架， 所述第 一支架设置于所述第 二盖构件的背对所述第 一 盖构件的侧部， 所述第一支架和所述第二支架二者被设置为使得所述圆筒主体自所述第二端部向所 述第一端部倾 斜， 所述圆筒机构还 包括底座， 所述第一支 架和所述第二支 架均设置 于底座。 9.根据权利要求2所述的圆筒机构， 其特 征在于， 所述第一密封件 包括密封圈， 所述第二密封件 包括盘型护罩， 所述圆筒主体包括设置于所述 圆筒主体内侧的锥形面， 所述锥形面的中部向所述圆筒 主体的内壁凹入， 所述 孔部贯穿所述锥形面， 所述圆筒 主体由圆管一体成型制得。 10.一种甩干机， 其特征在于， 所述甩干机包括如权利要求1至9中任一项所述的圆筒机 构。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115430647 A 3