(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211197944.3 (22)申请日 2022.09.29 (71)申请人 扬州晶樱光电科技有限公司 地址 225600 江苏省扬州市高邮市经济开 发区凌波路86号 (72)发明人 杨定勇　张力峰　邹文龙　 (74)专利代理 机构 北京红梵知识产权代理事务 所(普通合伙) 11912 专利代理师 熊涛 (51)Int.Cl. H01L 21/687(2006.01) H01L 21/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种单晶硅预处 理装置 (57)摘要 本发明涉及工业技术领域， 具体为一种单晶 硅预处理装置， 包括平面板， 平面板的一侧固定 安装支撑板； 支撑板的顶部固定安装喷淋板； 喷 淋板的顶部固定安装水仓， 水仓上设置进水管； 平面板上固定安装第一电机； 第一电机的转轴端 部固定安装第二电机； 第二电机的转轴端部固定 安装第三电机； 第三电机的转轴端部固定安装承 接面板， 承接面板为连续弯折结构， 承接面板包 括第一竖板、 第二横板和第三竖板， 第三竖板位 于最底部； 承接面板上安装防护机构。 本发明承 接入料、 清洗硅片和输出硅片， 在衔接原输送带 送料的基础上， 完成预处理的硅片冲洗， 从而实 现硅片的高效冲洗， 低成本冲洗， 同时大大缩短 了转移的行程距和成本 。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 115547917 A 2022.12.30 CN 115547917 A 1.一种单晶硅预处 理装置， 其特 征在于， 包括： 平面板(1)， 所述平面板(1)的一侧固定安装支撑 板(2)； 喷淋板(3)， 所述支撑 板(2)的顶部固定安装喷淋板(3)； 水仓(4)， 所述喷淋板(3)的顶部固定安装水仓(4)， 所述水仓(4)上设置进水 管； 第一电机(5)， 所述平面板(1)上固定安装第一电机(5)； 第二电机(6)， 所述第一电机(5)的转轴端部固定安装第二电机(6)； 第三电机(7)， 所述第二电机(6)的转轴端部固定安装第三电机(7)； 承接面板(8)， 所述第三电机(7)的转轴端部固定安装承接面板(8)， 承接面板(8)为连 续弯折结构， 承接面板(8)包括第一竖板、 第二横板和第三竖板， 第三竖板位于最底部； 防护机构(9)， 所述承接面板(8)上安装防护机构(9)。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅预处理装置， 其特征在于： 所述承接面板(8)设有 滑槽(801)、 限位块(802)、 通槽(803)、 推块(804)和气缸(805)， 所述承接面板(8)的第三竖 板侧面开设滑槽(801)， 所述第三竖板位于滑槽(801)的中部位置固定安装限位块(802)， 所 述第二横 板上开设通槽(803)， 通槽(803)处契合安装推块(804)， 所述第二横板的底部固定 安装气缸(80 5)， 所述气缸(80 5)的内杆与推块(804)固定连接 。 3.根据权利要求2所述的一种单晶硅预处理装置， 其特征在于： 所述通槽(803)贴靠第 一竖板开设。 4.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅预处理装置， 其特征在于： 所述防护机构(9)包 括第四电机(9 01)、 第一螺杆(902)、 第二螺杆(9 03)、 滑块(904)和防护杆(9 05)， 所述第三竖 板的一端固定安装第四电机(901)， 所述滑槽(801)内设置第一螺杆(902)和第二螺杆 (903)， 所述第一螺杆(902)和第二螺杆(903)的螺纹反向设置， 所述第一螺杆(902)和第二 螺杆(903)的端部固定连接， 所述第一螺杆(902)与第四电机(901)的转轴固定连接， 所述第 一螺杆(902)和第二螺杆(903)上均螺纹套设安装滑块(904)， 所述滑块(904)与滑槽(801) 滑动连接， 所述滑块(904)上一体连接防护杆(90 5)。 5.根据权利要求4所述的一种单晶硅预处理装置， 其特征在于： 所述滑块(904)和防护 杆(905)之间设有卡槽， 第二横板和第三竖板的连接处卡在卡槽位置 。 6.根据权利要求4所述的一种单晶硅预处理装置， 其特征在于： 所述第一螺杆(902)和 第二螺杆(90 3)的连接处与限位 块(802)的位置相对应。 7.根据权利要求1所述的一种单晶硅预处理装置， 其特征在于： 所述第一电机(5)和第 二电机(6)竖向设置， 第二电机(6)和第三电机(7)横向设置， 所述承接面板(8)位于第三电 机(7)的上 方， 第三电机(7)的转轴和承接面板(8)的第二横板固定连接 。 8.根据权利要求4所述的一种单晶硅预处理装置， 其特征在于： 所述防护杆(905)与承 接面板(8)相对的面均贴覆橡胶片。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115547917 A 2一种单晶硅预处理装 置 技术领域 [0001]本发明涉及工业 技术领域， 具体为 一种单晶硅预处 理装置。 背景技术 [0002]单晶硅预处理需要分切， 分切后需要对硅片进行冲洗， 目前冲洗这一步骤是单独 的， 需要配备独立的冲洗装置， 比较耗费成本， 而且因为独立加装的设备， 又增加了转移的 行程和成本 。 [0003]如果可以将预处理的冲洗步骤衔接到传送转移装置之间， 那么就可以降低成本， 提高效率。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种单晶硅预处理装置， 以解决上述背景技术中提出预处 理冲洗为独立 步骤、 需要投入成本高， 而且增 加了转移行程和成本的问题。 [0005]为实现上述目的， 本发明提供如下技 术方案： [0006]一种单晶硅预处 理装置， 包括平面板， 所述平面板的一侧固定安装支撑 板； [0007]喷淋板， 所述支撑 板的顶部固定安装喷淋板； [0008]水仓， 所述喷淋板的顶部固定安装水仓， 所述水仓上设置进水 管； [0009]第一电机， 所述平面板上固定安装第一电机； [0010]第二电机， 所述第一电机的转轴端部固定安装第二电机； [0011]第三电机， 所述第二电机的转轴端部固定安装第三电机； [0012]承接面板， 所述第三电机 的转轴端部固定安装承接面板， 承接面板为连续弯折结 构， 承接面板包括第一竖板、 第二横板和第三竖板， 第三竖板位于最底部； [0013]防护机构， 所述承接面板上安装防护机构。 [0014]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0015]所述承接面板设有滑槽、 限位块、 通槽、 推块和气缸， 所述承接面板的第三竖板侧 面开设滑槽， 所述第三竖板位于滑槽的中部位置固定安装限位块， 所述第二横板上开设通 槽， 通槽处契合安装推块， 所述第二横板的底部固定安装气缸， 所述气缸的内杆与推块固定 连接。 [0016]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0017]所述通槽贴靠第一竖板开设。 [0018]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0019]所述防护机构包括第四电机、 第一螺杆、 第二螺杆、 滑块和防护杆， 所述第三竖板 的一端固定安装第四电机， 所述滑槽内设置第一螺杆和第二螺杆， 所述第一螺杆和第二螺 杆的螺纹反向设置， 所述第一螺杆和第二螺杆的端部固定连接， 所述第一螺杆与第四电机 的转轴固定连接， 所述第一螺杆和第二螺杆上均螺纹套设安装滑块， 所述滑块与滑槽滑动 连接， 所述滑块上一体连接防护杆。说　明　书 1/4 页 3 CN 115547917 A 3