(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211408949.6 (22)申请日 2022.11.11 (71)申请人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限公 司 地址 215000 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 刘斌　刘国强　周训丙　 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 5/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 15/02(2006.01) (54)发明名称 一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式 清洗机 (57)摘要 本发明属于晶圆清洗技术领域， 尤其是一种 机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 包 括支撑架， 还包括位于所述支撑架一侧的传送带 以及安装在所述支撑架上的隔离罩。 该机械摆臂 与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 通过设置输 送机构和抽吸机构， 能够对隔离罩内的空气进行 净化， 防止通过隔离罩一侧进入的污染空气对晶 圆清洗槽周围的空气造成污染， 通过输气管道和 抽吸管道的配合实现隔离罩内空气的净化， 能够 有效减少隔离罩内的污染， 输气管道由上至下输 送洁净后的气体， 对隔离罩一侧进入的气体进行 挤压排斥， 防止隔离罩一侧的污染空气进入隔离 罩， 抽吸管道的抽吸力小于输气管道输送的输送 力， 抽吸管道进行抽吸加快输气管道输送气体的 流动性。 权利要求书2页 说明书6页 附图10页 CN 115458449 A 2022.12.09 CN 115458449 A 1.一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 包括支撑架 （1） ， 其特征在于： 还 包括位于所述支撑架 （1） 一侧的传送带 （1 1） 以及安装在所述支撑架 （1） 上的隔离罩 （2） ； 所述支撑架 （1） 的上表面固定安装有外槽 （6） ， 所述外槽 （6） 的内部中心处竖直方向上 安装有用于清洗晶圆的 晶圆清洗 槽 （61） ； 所述支撑架 （1） 的外表面两侧均固定安装有带有隔离液的隔离槽 （21） ， 所述隔离槽 （21） 的外表 面设置有拿取装有晶圆的花篮 （63） 进行移动动作的移动装置， 所述移动装置包 括呈U型状的机械手 （34） ， 所述机械手 （34） 的将清洗完成后装有晶圆的所述花篮 （63） 沿水 平方向上放置 到所述传送带 （1 1） 上实现晶圆清洗后的运输动作。 2.根据权利要求1所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 两个所述隔离槽 （21） 的内底壁均固定连通有排水管道 （22） ， 两个所述排水管道 （22） 的 一端通过三通接头固定安装有自动排水阀 （23） ， 所述自动排水阀 （23） 控制所述隔离槽 （21） 是否进行泄液动作。 3.根据权利要求1所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 所述机械手 （34） 的底端活动设置在所述隔离槽 （21） 的内底 壁处， 所述隔离罩 （2） 的底端 位于所述机械手 （34） U型内壁处， 所述机械手 （34） 沿着所述隔离罩 （2） 的下表 面与所述隔离 槽 （21） 的内底壁之间形成的间隙处进行水平移动， 且所述隔离液充入并漫过所述间隙， 其 中所述隔离液包括但不限于蒸馏水。 4.根据权利要求1所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 所述移动装置还包括安装在支撑架 （1） 外表 面的移动外壳 （3） 、 固定在所述移动外壳 （3） 内底壁的驱动电机 （31） 、 通过轴承座安装在所述支撑架 （1） 外表面的丝杆 （32） 以及安装在 所述支撑架 （1） 外表面的限位 导轨 （33） ； 所述驱动电机 （31） 的输出轴通过皮带和皮带轮的配合驱动两个所述丝杆 （32） 同步同 向进行转动动作， 两个所述机械手 （34） 的一端分别与两个丝杆 （32） 的外表 面螺纹连接且两 个机械手 （34） 呈对称分布， 所述机械手 （34） 的外表 面与所述限位导轨 （33） 的外表 面滑动插 接， 两个所述丝杆 （32） 的正反转动后实现对两个机械手 （34） 沿所述限位导轨 （33） 的水平方 向进行来回同步的移动 动作。 5.根据权利要求1所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 所述隔离罩 （2） 的外表 面设置有延伸至所述晶圆清洗槽 （61） 上方的输送机构， 所述输送 机构包括安装在隔离罩 （2） 外表面的输气管道 （4） ， 所述输气管道 （4） 是由总管道和多个固 定连通且呈垂直等距离分布在所述总管道外表面的分支管构成， 所述输气管道 （4） 的分支 管的内壁固定安装有过 滤输送气体的过 滤网 （41） 。 6.根据权利要求5所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 所述输送机构还包括位于所述支撑架 （1） 一侧的气泵 （42） ， 所述气泵 （42） 的进气端与车 间内空气滤新系统连通， 所述气泵 （42） 的出气端通过软管与所述输气管道 （4） 的总管道一 端固定安装， 所述气泵 （42） 将抽吸的洁净空气通过输气管道 （4） 输送进入晶圆清洗槽 （61） 的上方， 对进入所述隔离罩 （2） 内的受污染空气进行排斥动作。 7.根据权利要求1所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 所述隔离槽 （21） 的内壁设置有用于抽吸气体的抽吸机构， 所述抽吸机构包括呈竖直方 向开设在所述隔离槽 （21） 一侧外表 面的安装槽 （5） ， 所述安装槽 （5） 的内壁固定安装有抽吸权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115458449 A 2管道 （51） 。 8.根据权利要求7所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 所述抽吸机构还包括位于所述支撑架 （1） 一侧的风机 （52） ， 所述风机 （52） 的进气端通过 软管与所述抽吸管道 （51） 的总管道 一端固定安装， 所述风机 （52） 抽吸产生的吸力后实现所 述抽吸管道 （51） 对所述隔离罩 （2） 内的空气进行抽吸动作。 9.根据权利要求1所述的一种机械摆臂与槽体紧凑配合的晶圆槽式清洗机， 其特征在 于： 所述晶圆清洗槽 （61） 的内壁滑动设置有托架 （62） ， 所述花篮 （63） 的下端与所述托架 （62） 的上表面活动卡合， 所述外槽 （6） 的下表面固定安装有举升气缸 （64） ， 所述举升气缸 （64） 的活塞杆贯穿并延伸至所述晶圆清洗槽 （61） 的内部后与所述托架 （62） 的下表面中心 处固定连接 。 10.根据权利要求1所述的一种机械摆臂与槽体 紧凑配合的晶圆槽 式清洗机， 其特征在 于： 所述晶圆清洗槽 （61） 的内侧底壁设有延伸至其两侧顶部的喷水管 （65） ， 所述喷水管 （65） 的顶部沿所述晶圆清洗槽 （61） 的长度方向上阵列设置有对准所述花篮 （63） 的喷头 （66） ， 所述喷水管 （65） 的进液端贯穿并延伸至所述外槽 （6） 的外部与储液罐连通实现进液 动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115458449 A 3